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(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号CN110137206B(45)授权公告日2025.01.21
(21)申请号201810134066.8
(22)申请日2018.02.09
(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN110137206A
(43)申请公布日2019.08.16
C23C14/04(2006.01)
(56)对比文件
CN106486513A,2017.03.08CN208077981U,2018.11.09审查员
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