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****传感器原理及应用电容式传感器演示文稿第五章电容式传感器5.1电容式传感器工作原理和结构5.2电容式传感器等效电路5.3电容式传感器测量电路5.4电容式传感器应用ε电容极板间介质的介电常数,ε0为真空介电常数,εr极板间介质的相对介电常数;A两平行板所覆盖的面积;d两平行板之间的距离。两个平行金属板组成的平板电容器,不考虑边缘效应时电容量为一、基本工作原理§5.1电容式传感器工作原理和结构d极板1极板2被测参数变化A、d或ε发生变化时,电容量C也随之变化。仅改变一个参数,该参数的变化可转换为电容量的变化,通过测量电路就可转换为电
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