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行业研究/行业专题报告
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1.光刻机：工业皇冠上的明珠5
1.1光刻是芯片制造的关键工艺，光刻机是核心设备5
1.2掩膜光刻和直写光刻各有不同应用，投影式光刻逐渐替代接触/
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