拉晶工艺及操作规程.ppt

6.引晶当料熔化完时，应调整埚位到引晶埚位，一般目测熔硅液面与导流筒下沿距离10～20mm为宜（可参考前几炉埚位参数），加热功率到引晶功率（参照加料量以及前几炉数据确定），开始稳定温度。具体操作过程：欧陆值降至合适时，将欧陆/功率部分调至“自动”，待温度稳定后（从降温到稳定大约需要2h），判定温度稳定的方法：SV值与SP值基本相当，没有大幅度上下浮动。设定埚转5～9r/min，晶转值10～12r/min，埚转晶转应分几次调整到位，禁止调整幅度过大。将籽晶降至导流筒上沿；10分钟后将籽晶降至距液面10㎜处，预热10分钟，降籽晶使之与熔硅接触（试引晶）。合适的的引晶温度是籽晶和熔硅接触后出现光圈并慢慢变圆，并有变大的趋势。若下种后籽晶周围出现白色结晶，而且很长时间没有出现光圈，说明温度偏低；若下种后马上出现光圈，光圈抖动，并且越来越小，说明温度过高。然后根据情况调节温度（SP值），当温度合适开始引晶。打开晶升电源，计长器清“0”，手动引晶过程中，拉速可以在0～9mm/min之间调整，最好是让拉速保持在2～6mm/min，直径控制在3～6mm之间。第19页，共37页，星期日，2025年，2月5日引晶过程中要时刻注意观察炉内情况，根据情况灵活调节拉速保证引晶正常进行。引晶过程中尽量不调节温度，防止位错产生。引晶要求熔接、缩颈均良好，直径在3-6mm之间，长度150mm。引晶高速段的平均速度应控制在3-6mm/min之间。过慢不能排除位错，过快则放肩时易放“飞”（放肩时长的太快，甚至于呈方形），容易导致单晶半途断棱。第20页，共37页，星期日，2025年，2月5日圆籽晶和方籽晶第21页，共37页，星期日，2025年，2月5日7.放肩引晶结束后（细颈长度150mm），将拉速调整到0.40左右进行放肩，放肩的起始部分宜慢，之后应通过调整温校速率适时降温，使放肩生长平滑，防止肩部呈台阶状（一般温校起始值-12，然后慢慢增加）。放肩时间大约100min左右，放肩过快容易导致单晶断棱。放肩务必要放平肩，当肩部放到接近要求直径时，应用测径仪测量晶体直径，当直径小于要求直径约10mm左右时，即可开始转肩。第22页，共37页，星期日，2025年，2月5日放肩时不成晶(断棱)的处理第一次放肩不成晶时，无渣回熔。有渣时用晶快升提升至导流筒的中间部位后，将SL设定在6.0㎜/min上升5分钟后快速提升到副室，打开主室氩气阀门盖好翻板阀。关闭翻板阀后，打开快速充气阀门V1给副室充气，到达常压后打开副室小门，取出不成晶品。c)清理副炉筒，擦拭小副室门密封处。d)检查籽晶，并稳定好籽晶，合好小副室门，用副室泵，开始抽真空。第23页，共37页，星期日，2025年，2月5日副室抽真空

打开副室泵开关及副室泵阀门，抽真空。当真空接近气压表负值顶端时，关闭副室泵阀门，打开氩气快速充气阀门V1，充氩气到接近常压，然后关闭氩气阀门V1，打开副室泵阀门抽空，按以上方法重复充气3次。关闭副室泵阀门检漏，合格后，打开翻板阀。降籽晶，重新稳定温度，准备引晶。第24页，共37页，星期日，2025年，2月5日8.转肩转肩前需根据情况进行预降温，一般降低欧陆控制器设定值（SP值）10～30个字，转肩时拉速为1.5～3mm/min，根据现场放肩快慢而定。一般调节方法为：直径145mm时，拉速1.5mm/min左右；直径148mm时，拉速2mm/min左右；直径151mm时，拉速2.5mm/min左右；直径154mm时，拉速1.25mm/min左右；转肩过程中应适时打开埚升，转肩完成后，及时将计长清零并记录。转肩完毕后，对拉晶状态进行20分钟的观察，适当调整温度和拉速，确认棱线明显，直径合适。当晶体在头部设定拉速下能等径生长时，压好光圈（1/3～2/3），手柄拉速调到0后即可投入自动等径。第25页，共37页，星期日，2025年，2月5日9.等径验算埚跟比是否正确在等径过程中要经常验算埚跟比是否正确，特别是在尾部时，要注意埚升情况，判断埚升曲线是否合适，不正确的要及时纠正。验算的正确方法是：用同一时间段内，埚位变化量和晶体长度变化量之比来判断。按要求每隔一小时做一次记录，要求整齐、详实。第26页，共37页，星期日，2025年，2月5日第1页，共37页，星期日，2025年，2月5日一、拉晶工艺流程图配料煅烧拆、清炉装料抽真空充氩气化料引晶缩颈放肩转肩等径收尾停炉库房检验晶棒第2页，共37页，星期日，2025年，2月5日说明：a)单晶制造工艺流程