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铪锆氧基铁电场效应晶体管的TCAD仿真研究
一、引言
随着现代电子技术的飞速发展，新型材料在半导体器件中的应用越来越广泛。铪锆氧基铁电材料因其独特的物理和化学性质，在微电子领域展现出了巨大的应用潜力。特别是，将这种材料应用于晶体管中，不仅可以提高晶体管的性能，还可以拓展其应用范围。本文利用TCAD（TechnologyComputer-AidedDesign）仿真技术，对铪锆氧基铁电场效应晶体管进行了深入研究。
二、铪锆氧基铁电材料特性分析
铪锆氧基铁电材料是一种具有高介电常数和高极化强度的多功能材料。其独特的铁电性能使其在电场作用下表现出优异的非易失性存储能力和良好的抗疲劳特性。此外，该
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