南开大学25年春季新学期《感知技术与应用》在线作业二.docx

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25春学期（高起本：1809-2103）《感知技术与应用》作业参考-2

关于MEMS传感器，以下说法错误的是（）

选项A：从信号检测方式划分，MEMS压力传感器可分为压阻式、电容式和谐振式等

选项B：谐振式压力传感器是采用高精密半导体电阻应变片组成惠斯顿电桥作为力电变换测量电路的

选项C：MEMS加速度计分为电容式、压电式和压阻式

选项D：谐振式加速度计易于实现高精度测量，也成为微传感器的一个重要发展方向

参考答案：B

（）因采用干涉技术而具有很高的相位调制灵敏度。

选项A