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BST组分梯度薄膜的界面调控与电学性能关联研究：机制、优化与应用

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代电子器件的发展进程中，高性能材料的研发与应用始终是推动技术进步的关键因素。BST（Ba?Sr???TiO?）薄膜作为一种极具潜力的功能材料，凭借其独特的物理性质，在众多电子器件领域展现出了不可或缺的应用价值。

BST薄膜属于钙钛矿结构的铁电材料，具有介电常数适中的特性。这一特性使其在动态随机存储器（DRAM）中发挥着重要作用，能够有效提升存储密度和数据处理速度，满足现代信息技术对大容量、高速存储的需求。同时，在微波器件如移相器、滤波器等方面，BST薄膜的介电常数可通过外部电场进行调节，