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半导体材料国产化关键技术突破与产业链协同创新模式研究报告
一、半导体材料国产化关键技术突破与产业链协同创新模式研究报告
1.1技术突破背景
1.1.1国家政策支持
1.1.2市场需求推动
1.1.3企业自主创新
1.2关键技术突破
1.2.1材料制备技术
1.2.2材料加工技术
1.2.3材料性能提升
1.3产业链协同创新模式
1.3.1企业合作
1.3.2产学研结合
1.3.3政策引导
二、半导体材料国产化关键技术突破案例分析
2.1关键材料制备技术突破
2.1.1硅材料制备技术
2.1.2化合物半导体材料制备技术
2.1.3高纯度靶材制备技术
2.2材料加
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