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SensorDetectingTechnology
主要内容3.1自感式传感器3.2差动变压器3.3电容传感器3.4电涡流式传感器第三章变阻抗式传感器原理与应用
电容式传感器是把被测非电量的变化转换成电容量变化的一种传感器。电容式传感器结构简单、体积小、分辨率高、测量精度高、具有平均效应、可非接触测量、能在高温、辐射、强烈振动等恶劣条件下工作。电容式传感器不但广泛用于位移、振动、角度、加速度等机械量的精密测量,而且还逐步地扩大到用于压力、差压、液位、物位或成份含量等方面的测量。3213.3电容式传感器3.3电容传感器
电容传感器的工作原理01电容传感器的主要性能02电容传感器的特点和设计要点03电容传感器等效电路04电容传感器测量电路05电容传感器的应用063.3电容式传感器
输入标题工作原理及类型输入标题输入标题输入标题变介电常数型电容传感器2变极距型电容传感器变面积型电容传感器1433.3.1电容传感器的工作原理3.3电容式传感器
3.3.1电容传感器的工作原理电容导体上的电荷导体之间的电压差电容式传感器什么是电容器?电容器有两个用介质(固体、液体或气体)或真空隔开的电导体构成。
3.3.1电容传感器的工作原理1.工作原理及类型S——极板相对覆盖面积;???d——极板间距离;???εr——相对介电常数;???ε0——真空介电常数(8.85pF/m);???ε——电容极板间介质的介电常数。dSε3.3电容式传感器
3.3.1电容传感器的工作原理d、S和εr中的某一项或几项有变化时,就改变了电容d或S的变化可以反映线位移或角位移的变化,也可以间接反映压力、加速度等的变化;εr的变化则可反映液面高度、材料厚度等的变化。3.3电容式传感器dSε
3.3电容式传感器
3.3电容式传感器
3.3电容式传感器
3.3.1电容传感器的工作原理No.1变极距型:(a)、(e)变面积型:(b)、(c)、(d)、(f)、(g)(h)变介电常数型:(i)~(l)No.23.3电容式传感器
3.3.1电容传感器的工作原理2.变极距型电容传感器dA:可动极板εB:固定极板非线性关系若△d/d1时,则上式可简化为若极距缩小△d最大位移应小于间距的1/10初始电容3.3电容式传感器
3.3.1电容传感器的工作原理变面积型电容传感器3.3电容式传感器
3.3.1电容传感器的工作原理3.变面积型电容传感器当动极板相对于定极板沿着长度方向平移时,其电容变化量化为△C与△x间呈线性关系3.3电容式传感器
3.3.1电容传感器的工作原理电容式角位移传感器当θ=0时当θ≠0时传感器电容量C与角位移θ间呈线性关系变面积型电容传感器电容式传感器
3.3.1电容传感器的工作原理3.3电容式传感器变介电常数型电容传感器在电容器两极板间插入不同介质时,电容器的电容量也就不同。变介电常数型电容式传感器大多用来测量电介质的厚度、液位,还可根据极间介质的介电常数随温度、湿度改变而改变来测量介质材料的温度、湿度等。
3.3.1电容传感器的工作原理3.3电容式传感器
3.3.1电容传感器的工作原理4.变介电常数型电容传感器相对介电常数的电介质以不同深度插入电容器3.3电容式传感器
3.3.1电容传感器的工作原理当L=0时,传感器的初始电容当被测电介质进入极板间L深度后,引起电容相对变化量为电容变化量与电介质移动量L呈线性关系电容式传感器
3.3.1电容传感器的工作原理变介电常数型电容传感器初始电容电容式液位传感器电容与液位的关系为:电容式传感器
电容传感器的工作原理01电容传感器的主要性能02电容传感器的特点和设计要点03电容传感器等效电路04电容传感器测量电路05电容传感器的应用063.3电容式传感器3.3电容式传感器
静态灵敏度被测量缓慢变化时,传感器电容变化量与引起其变化的被测量变化之比。01非线性013.3电容式传感器013.3.2电容传感器的主要性能
3.3.2电容传感器的主要性能1.静态灵敏度变极距型,其静态灵敏度为将上式展开成泰勒级数得d过小易导致电容器击穿,在极间加一层云母片或塑料膜来改善电容器耐压性能3.3电容式传感器
3.3.2电容传感器的主要性能平板式变面积型增加极板宽度、减小极板间距可提高静态灵敏度;极板起始遮盖长度a的大小与灵敏度无关!其静态灵敏度为电容式传感器
3.3.2电容传感器的主要性能非线性变极距型将上式展开成泰勒级数得非线性电容式传感器
3.3.2电容传感器的主要性能非线性非线性得到了改善灵敏度:电容式传感
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