2025年半导体设备研发产业链布局与技术选择.docx

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2025年半导体设备研发产业链布局与技术选择参考模板

一、2025年半导体设备研发产业链布局与技术选择

1.1.全球半导体产业发展现状

1.2.我国半导体设备研发产业链布局

1.2.1上游

1.2.2中游

1.2.3下游

1.3.半导体设备研发技术选择

1.3.1技术创新

1.3.2产业链协同

1.3.3人才培养

1.3.4政策支持

二、半导体设备研发产业链的关键技术分析

2.1光刻技术

2.1.1极紫外光(EUV)光刻技术

2.1.2纳米压印光刻技术

2.2刻蚀技术

2.2.1干法刻蚀技术

2.2.2湿法刻蚀技术

2.3离子注入技术

2.3.1高能离子注入技术

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