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超精密平面加工技术：磁力研磨工艺的研究与应用 .pdf

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    超精密平面加工技术：磁力研磨工艺的研究与应

    用

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    超精密平面加工技术：磁力研磨工艺的研究与应用（1）3

    1.内容概3

    1.1研究背景与意义3

    1.2国内外研究现状与发展趋势5

    1.3研究内容与方法9

    2.超精密平面加工技术概述10

    2.1超精密加工的定义与特点11

    2.2平面加工的基本原理与方法12

    2.3磁力研磨工艺的基本原理13

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