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Nano-SQUID测量系统：从研发突破到多元应用的深度探索

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科学技术的前沿探索中，微观磁探测领域正逐渐成为众多学科交叉融合的关键阵地，对推动基础科学研究与高端技术创新发挥着举足轻重的作用。其中，Nano-SQUID（纳米超导量子干涉仪）测量系统凭借其卓越的性能，在微观磁探测领域占据着极为重要的地位，成为科研人员探索微观世界奥秘的有力工具。

随着量子材料研究的深入开展，科学家们对材料微观磁特性的精准探测需求日益迫切。量子材料，如高温超导体、拓扑绝缘体、二维磁性材料等，因其独特的量子特性，展现出区别于传统材料的新奇物理现象，如高温超导中的零电阻特性和完全抗磁性、拓扑绝缘体表面态的无耗散导电特性等。这些特性不仅挑战着传统物理学的认知边界，更为未来电子学、能源存储与转换、量子计算等领域的革命性发展提供了潜在的物质基础。

对量子材料微观磁特性的深入理解，是解锁其潜在应用价值的关键所在。然而，传统的磁测量手段在面对量子材料的微观尺度和微弱磁信号时，往往显得力不从心。例如，传统的振动样品磁强计（VSM）虽然在宏观磁性测量方面表现出色，但由于其检测原理和结构限制，空间分辨率通常在毫米量级，难以捕捉量子材料中纳米尺度的磁畴结构和磁矩分布变化；而基于霍尔效应的磁传感器，尽管在工业应用中广泛使用，但其灵敏度和分辨率在探测微观量子材料的微弱磁信号时也存在较大局限，无法满足研究量子材料中复杂磁相互作用和量子磁现象的需求。

Nano-SQUID测量系统的出现，为量子材料研究带来了新的曙光。它基于超导量子干涉效应，能够探测到极其微弱的磁通量变化，灵敏度可达到皮特斯拉（pT）量级，空间分辨率也能达到纳米尺度。这使得科研人员能够在纳米尺度下对量子材料的磁特性进行高分辨率成像和精确测量，直接观察到量子材料中磁畴的精细结构、磁通涡旋的分布与动态行为以及自旋-轨道耦合等微观磁相互作用的表现形式。例如，在高温超导材料研究中，Nano-SQUID可以精确测量超导转变温度附近磁通涡旋的形成与运动，揭示超导机制中的关键物理过程；在二维磁性材料研究中，能够探测到原子级厚度薄膜中的磁各向异性和磁畴演化，为理解二维磁性的本质提供关键实验数据。

研发Nano-SQUID测量系统对推动相关科学技术发展具有不可估量的意义。在基础科学研究方面，它为凝聚态物理、材料科学等领域提供了前所未有的微观磁探测能力，有助于科学家们深入研究量子材料的量子相变、拓扑磁结构等前沿科学问题，推动量子物理学理论的进一步完善和发展。在应用技术领域，Nano-SQUID测量系统的高灵敏度和高分辨率特性，使其在生物医学检测、无损材料检测、地质勘探等领域展现出巨大的应用潜力。在生物医学检测中，可用于检测生物分子的微弱磁信号，实现早期疾病诊断和生物分子成像；在无损材料检测中，能够检测材料内部的微小缺陷和应力分布，保障材料的质量和安全性；在地质勘探中，有助于探测地下深部的弱磁性矿物资源和地质构造，提高资源勘探效率和准确性。

1.2国内外研究现状

在Nano-SQUID测量系统的研发历程中，国外科研团队凭借其先进的科研条件和深厚的技术积累，率先取得了一系列开创性成果。早在20世纪末，美国、德国、日本等国的顶尖科研机构就已在SQUID基础理论研究方面奠定了坚实基础，并逐步将研究重点转向Nano-SQUID的微纳加工工艺与系统集成技术。美国的一些实验室通过不断优化约瑟夫森结的设计与制备工艺，成功提升了Nano-SQUID的灵敏度和稳定性，使其在极微弱磁场探测领域展现出卓越性能，能够精确探测到皮特斯拉量级的磁场变化，为后续在量子材料研究、生物磁学等领域的应用奠定了技术基础。

在应用研究方面，国外研究人员利用Nano-SQUID测量系统在量子材料研究中取得了重大突破。例如，在对高温超导材料的研究中，通过Nano-SQUID对超导薄膜中的磁通涡旋进行高分辨率成像，清晰地揭示了磁通涡旋的分布规律以及在外加磁场下的动态演化过程，为深入理解高温超导机制提供了关键的实验证据。在二维磁性材料研究中，国外团队借助Nano-SQUID的纳米级空间分辨率，探测到二维材料中原子级别的磁矩分布和磁畴结构，为探索二维磁性材料的新奇磁特性和潜在应用提供了重要数据支持。

近年来，国内在Nano-SQUID测量系统研发及应用领域也取得了长足进步。复旦大学王熠华课题组运用自主发展的飞秒激光三维纳米直写技术，在nano-SQUID芯片头部打印针尖，成功突破了传统平面结构对空间分辨率的限制。通过蒸镀超导材料并利用聚焦离子束刻蚀加工出百纳米级的小孔和细缝，借助超导体的麦斯那屏蔽效应，显著提高了空间分辨率，同时还能利用超导针尖聚焦场线圈所产生的磁场，进行更加局域的磁