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6.1.1干涉测长的基本原理1.激光干涉测长的基本光路是一个迈克尔逊干涉仪,如图6-1示,用干涉条纹来反映被测量的信息。两束光的光程差可以表示为2.被测长度与干涉条纹变化的次数和干涉仪所用光源波长之间的关系是图6-1激光干涉测长仪的原理图3.从测量方程出发可以对激光干涉测长系统进行基本误差分析
6.1.2激光干涉测长系统的组成1.除了迈克尔逊干涉仪以外，激光干涉测长系统还包括激光光源，可移动平台，光电显微镜，光电计数器和显示记录装置。2.迈克尔逊干涉仪是激光干涉测长系统的核心部分，其分光器件、反射器件和总体布局有若干可能的选择。3.干涉仪的分光器件原理可以分为分波阵面法、分
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