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A
A
附录A
（规范性）
硅制晶舟沟齿面平面度、沟齿面平行度、沟棒垂直度和表面粗糙度试验方法
A.1沟齿面平面度
A.1.1三坐标测量法
A.1.1.1测量工具
三坐标测量仪、大理石V型块。
A.1.1.2测量步骤
A.1.1.2.1硅制晶舟横向放置在测量仪三坐标测量仪大理石平台上的大理石V型块上（如图A.1）。
A.1.1.2.2同一平面取点，一个沟齿面采2个点，所有沟棒沟齿面构成一个平面，在三坐标测量仪上
读取平面度。
A.1.1.2.3每台硅制晶舟均布测量五处，测得5个测量值并作好记录，取最大值作为沟齿面平面度。
图A.1沟齿面平面度测量点位
A.1.2硅片测量法
A.1.2.1测量工具
测试硅片（12英寸/8英寸）、塞尺。
A.1.2.2测量步骤
A.1.2.2.1硅制晶舟基准面（法兰端）垂直放置大理石平台上。
A.1.2.2.2将硅片按入沟齿面，按照硅制晶舟沟齿数量均匀分布放置5处（图A.2）。
A.1.2.2.3目视硅片接触面是否有间隙，并用塞尺检查硅片与沟齿的间隙。测得5个测量值并作好记
录，取最大值，作为沟齿面平面度。
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图A.2沟齿面平面度测量硅片放置示意图
A.2沟齿面平行度
A.2.1测量工具
测高仪或高度仪。
A.2.2测量步骤
A.2.2.1硅制晶舟基准面（法兰端）垂直放置大理石平台上（如图A.3）。
A.2.2.2在各沟棒上取同一高度的沟齿，每个沟齿面选一个点，使用测高仪测量或高度仪（按硅制晶
舟实际尺寸选择）进行测量，按最大值减去最小值计算出沟齿面的平行度。
A.2.2.3按硅制晶舟沟齿数量均匀分布5处，取得5个测量值，取最大值作为沟齿面平行度。
图A.3沟齿面平行度测量点位
A.3沟棒垂直度
A.3.1测量工具
激光测试仪。
A.3.2测量步骤
A.3.2.1硅制晶舟基准面（法兰端）垂直放置大理石平台上（如图A.4）。
A.3.2.2使用激光测试仪，测量沟棒背面垂直度和沟棒侧面垂直度（扭曲度）。
A.3.2.3法兰端沟棒背面数值作为零点（点1），记录每根沟棒背面上部的垂直度（点2）。
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A.3.2.4法兰端沟棒侧面数值作为零点（点3），记录每根沟棒侧面上部的垂直度（扭曲度，点4）。
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