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§5.4俄歇电子能谱分析（AES）二、俄歇电子能谱分析（三）俄歇电子能谱的分析1.定性分析根据Perkin-Elmer公司的(俄歇电子能谱手册)，建议俄歇电子能谱的定性分析过程如下：(1)首先把注意力集中在最强的俄歇峰上。利用“主要俄歇电子能量图”，可以把对应于此峰的可能元素降低到2~3种。然后通过与这几种可能元素的标准谱进行对比分析，确定元素种类。考虑元素化学状态不同所产生的化学位移量.(2)在确定主峰元素后，利用标准谱图，在俄歇电于能谱图上标注所有属于此元素的峰。(3)重复(1)和(2)的过程，去标识更弱的峰。含量少的元素，有可能只有主峰才能在俄歇谱上观测到。(4)如果还有峰未能标识，则它们有可能是一次电子所产生的能量损失峰。改变入射电子能量，观察该峙是否移动，如移动就不是俄歇蜂。第63页，共104页，星期日，2025年，2月5日§5.4俄歇电子能谱分析（AES）二、俄歇电子能谱分析（三）俄歇电子能谱的分析1.定性分析右图为金刚石表面的Ti薄膜的俄歇谱，横坐标为俄歇电子动能，纵坐标为俄歇电子计数的一次微分。可以确定膜的元素组成。金刚石表面的Ti薄膜的俄歇定性分析谱(微分谱)第64页，共104页，星期日，2025年，2月5日§5.4俄歇电子能谱分析（AES）二、俄歇电子能谱分析2.定量分析或半定量分析俄歇电子强度与样品中对应原子的浓度有关，据此可以进行元素的半定量分析。影响俄歇电子强度的因素很多，除与原子的浓度有关外，还与样品表面的光洁度、元素存在的化学状态以及仪器的状态（谱仪对不同能量的俄歇电子的传输效率不同）有关，谱仪的污染程度、样品表面的C和O的污染、吸附物的存在、激发源能量的不同均影响定量分析结果，所以，AES不是一种很好的定量分析方法。它给出的仅仅是半定量的分析结果。定量分析方法有以下两种：(1)标准样品法纯元素标样法：在相同条件下测量样品中元素X和纯元素X标样的同一俄歇峰，俄歇电子信号强度分别为Ix和Ixstd，则：Cx＝Ix/Ixstd第65页，共104页，星期日，2025年，2月5日§5.4俄歇电子能谱分析（AES）二、俄歇电子能谱分析2.定量分析或半定量分析多元素标样法：用多元素标样（各元素浓度均已知）代替纯元素标样，标样的元素种类及含量与样品相近。设Cxstd为标样中元素X的原子分数，则：Cx＝CxstdIx/Ixstd因需提供大量标样，所以，实际分析中标准样品法应用不多。(2)相对灵敏度因子法该法是将各元素产生的俄歇电子信号均换算成纯Ag当量来进行比较计算。具体过程：在相同条件下测量纯元素X和纯Ag的主要俄歇峰强度Ix和IAg，比值Sx＝Ix/IAg即为元素X的相对灵敏度因子，表示元素X产生俄歇电子信号与纯Ag产生的相当程度。这样，元素X的原子分数为：式中，为Ii样品中元素i的俄歇峰强度，Si为元素i的相对灵敏度因子，可从相关手册中查出。测出样品中各元素的俄歇电子信号强度，查出相应元素的Si，即可计算各元素的浓度，而不需要任何标样。相对灵敏度因子法最常用。第66页，共104页，星期日，2025年，2月5日§5.4俄歇电子能谱分析（AES）二、俄歇电子能谱分析2.定量分析或半定量分析３．化学组态分析俄歇跃迁涉及三个能级，元素化学态变化时，能级状态有小的变化，结果这些俄歇电子峰与零价状态的峰相比有几个电子伏特的位移。若俄歇跃迁涉及到价电子，则俄歇峰与价带中电子的能量分布有关，由于价带对原子化学环境的变化灵敏，导致俄歇峰形状随化学环境而变化。因此，由俄歇电子峰的位置和形状可得知样品表面区域原子的化学环境或化学状态的信息。(2)相对灵敏度因子法俄歇电子强度是俄歇电子能谱进行元素定量分析的基础。但由于俄歇电子在固体激发过程中比较复杂，到目前为止，用俄歇电子能谱来进行绝对的定量分析还比较困难。第67页，共104页，星期日，2025年，2月5日§5.4俄歇电子能谱分析（AES）二、俄歇电子能谱分析４．成分深度分析AES的深度分析功能是AES最有用的分析功能。主要分析元素及含量随样品表面深度的变化。采用能量为500eV～5keV的惰性气体氩离子溅射逐层剥离样品，并用俄歇电子能谱仪对样品原位进行分析，测量俄歇电子信号强度I（元素含量）随溅射时间t（溅射深度）的关系曲线。如下图。这样就可以获得元素在样品中沿深度方向的分布。r1r2=2r1第68页，共104页，星期日，2025年，2月5日§5.4俄歇电子能谱分析（AES）（三）、