刻蚀设备与工艺介绍.pptxVIP

一、安全二、电池工艺流程三、刻蚀设备与工艺介绍

一、安全安全！！！HF，HNO3，H2SO4，KOH，NaOH，HCl都是强腐蚀性的化学药品，其中HF腐蚀更是强烈，它们的固体颗粒、溶液、蒸汽会伤害到人的皮肤、眼睛、呼吸道，所以操作人员要按照规定穿戴防护服、防护面具、防护眼镜、长袖胶皮手套，遵守安全操作规程。一旦有化学试剂伤害了员工的身体，马上用纯水冲洗30分钟，送医院就医。当然这里首先说明安全是让大家引起足够的重视，不是危言耸听，保护好自己才能够更好的生产。当然，也没有必要因为危险就害怕，在做好安全防护的前提下，我们的生产安全是有保障的，这个已在各大型电池生产企业得到验证。

电池生产工艺流程刻蚀分档测试检验包装磷扩散PECVD丝网印刷硅片检验制绒烧结

硅片扩散后电池的边缘会有N型杂质与P型基底形成PN结，以及扩散的过程中在电池表面形成了一层很厚的磷硅玻璃层（PSG），因此需要周边刻蚀将边缘的PN结去除，而磷硅玻璃则通过HF酸短时间浸泡来去除。故扩散后要进行去周边及去PSG工序，原来这道工序是分等离子刻蚀和HF酸洗设备两步进行的，现在我们的设备可以一次进行，目前我们拥有两种刻蚀机台：RENAIn-oxside，SCHMID。0102三、刻蚀工艺的作用

三、刻蚀工艺的作用

三、SCHMIDSE机台外观

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