集成电路高纯化学品制备技术教育部工程研究中心2024年年度报告.docxVIP

集成电路高纯化学品制备技术教育部工程中心2024年年报

技术攻关与创新情况

致力于攻克集成电路制造中所需的高纯度化学品提纯技术难题，如电子级磷酸、硫酸等湿电子化学品的提纯，以满足芯片制造对超高纯度化学品的需求。探索新型制备工艺，提高生产效率，降低生产成本，同时减少对环境的影响，为集成电路产业提供更高效、更环保的高纯化学品制备解决方案。建立和完善严格的质量控制体系，研发先进的检测技术，确保所制备的高纯化学品质量稳定可靠，达到国际先进水平，为集成电路制造提供质量保障。成功研发出具有自主知识产权的高纯度化学品制备工艺，突破了国外技术垄断，实现了电子级化学品的国产化替代，为国内集成电路产业提供了稳定供