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蓝宝石MEMS光纤动态压力传感器设计与应用研究

目录

蓝宝石MEMS光纤动态压力传感器设计与应用研究（1）．．．．．．．．．．．．4

一、文档概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4

1.1研究背景．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5

1.2研究意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6

1.3研究内容与方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7

二、相关技术概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10

2.1微机电系统技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10

2.2光学传感器技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13

2.3光纤动态压力传感器原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．15

三、蓝宝石MEMS光纤动态压力传感器设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17

3.1传感器结构设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．18

3.1.1蓝宝石基材分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．19

3.1.2MEMS敏感元件设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．20

3.2光学系统设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．21

3.2.1光路布局．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．24

3.2.2光探测器选型．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．25

3.3压力响应特性分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．27

3.3.1灵敏度分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．30

3.3.2稳定性分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．31

3.3.3非线性分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．33

四、传感器信号处理与接口电路设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．35

4.1信号调制与解调技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．37

4.2数据采集与处理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．38

4.2.1数据采集模块设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．40

4.2.2数据处理算法实现．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．41

4.3接口电路设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．43

4.3.1电源接口设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．44

4.3.2数据通信接口设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．45

五、实验验证与分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．48

5.1实验系统搭建．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．49

5.2传感器性能测试．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．51

5.3实验结果分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．52

5.3.1性能指标对比．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．56

5.3.2实验数据解读．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．57

六、蓝宝石MEMS光纤动态压力传感器的应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．58

6.1工业自动化领域．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．59

6.2交通运输领域．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．60

6.3