智能传感器技术 课件 第八章 MEMS传感器 .pptx

《智能传感器技术》教材配套课件

国防科技大学;MEMS麦克风;MEMS麦克风;MEMS麦克风是采用MEMS工艺将声音转换为电信号的能量转换器件，根据工作原理可以分为电容式、压电式等。电容式微麦克风应用较为广泛，本节重点介绍电容式微麦克风的工作原理、性能指标和应用。;基本结构;直流偏置;灵敏度;信噪比;总谐波失真;MEMS麦克风广泛应用于电子产品、汽车行业、智能家居、专业音频、医疗设备、工业应用等多种场景。在医疗领域，微麦克风能够捕捉到人体内部声音信号，如心跳声和呼吸声，可用于心率监测、睡眠呼吸分析等，为医生提供重要的诊断信息。;MEMS心音采集系统是一个能化信号采集处理系统，主要是