三甲硅烷基胺产品说明.PDFVIP

江苏南大光电材料股份有限公司

JiangsuNataOpto-electronicMaterialCo.,Ltd.

三甲硅烷基胺产品说明

1、产品介绍

中文名称：三甲硅烷基胺

英文名称：Trisilylamine(简称TSA）

分子式：(SiH)N

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2、理化特性

外观与性状：无色透明液体

气味：无资料

熔点：-106℃

沸点：52℃（初始）

密度：0.895g/cm3

溶解性：溶于烃类溶剂

易燃性：高度易燃

3、储存条件

易燃液体，储存于阴凉、干燥、通风良好的仓库。

远离火种、热源、防止阳光直射。防止阳光直射。与可燃材料、氧化剂、酸、氯、

溴、四氯化碳、氨和乙腈。等分开存放。切记混储。

储存间内的照明和通风等设施应采用防爆型，开关设在仓外。

配备干燥黄沙、灭火毯、D类干粉灭火器等消防器材。

4、安全警示

产品状态

造成严重皮肤灼伤和眼损伤。吸入致命。

危险特性

高温下不稳定。遇空气可能自燃，遇水剧烈反应释放易燃气体，可引起燃烧爆炸。

保存方式

产品应放置在密封钢质容器中，并在惰性气体中操作使用，避免与水、空气接触。人

体操作钢瓶时做好防护措施（防护手套、防护眼镜、防护面罩）。

灭火方法

干燥黄沙、石子、灭火毯、干粉灭火剂。严禁用水、二氧化碳和泡沫。

泄露应急处理

隔离泄漏污染区，疏散无关人员，远离泄露区域并处于上风方向。应急处理人员应佩

戴呼吸面具并穿上全身防护服，避免吸入蒸气、烟雾、气体或风尘。在确保安全的情

况下，采取措施防止进一步的泄露或溢出。少量泄漏时，可采用干砂或惰性吸附材料

吸收泄漏物，大量泄漏时需筑堤控制。附着物或收集物应存放在合适的密闭容器中，

并根据当地相关法律法规废弃处置。清除所有点火源，并采用防火花工具和防爆设备。

健康危害

造成严重皮肤灼伤和眼损伤。吸入致命。

5、产品规格（关键元素）

ElectronicGrade

Electronic

序号元素Units

Grade

1Ag0.5ppb

2Al0.5ppb

3Ca1.5ppb

4Cu1ppb

5Fe1ppb

6K1ppb

7Li0.5ppb

8Mg0.5ppb

9Mn0.5ppb

10Na