先进表面工程技术.pptVIP

先进表面工程事例塑料薄膜或纸张基片上镀铝制成的薄膜电容器；新型复合包装材料；老式镀膜幕墙玻璃；高效太阳能薄膜集热器；TiN系(包括Ti(c，N)、TiC等高硬膜，(Ti，Al)N等抗高温氧化膜，CrN耐磨耐蚀膜，ZrN高温高强膜及其多层复合涂层)耐磨涂层刀具、模具和量具；液晶显示器用ITO透明导电膜。第30页，共44页，星期日，2025年，2月5日正在和即将实现高新技术产业化的事例薄膜型电阻、电容、电感；背投电视光反射膜、过滤膜系列；磁盘、光盘、磁头的功能膜和防护膜；燃气轮机叶片MCrAlY系抗热腐蚀涂层；等离子体显示器MgO功能涂层；自清洁玻璃；光催化杀菌消毒薄膜；塑料容器高阻隔性薄膜；新式镀膜幕墙玻璃(吸收紫外，反射红外，透光)。第31页，共44页，星期日，2025年，2月5日第1页，共44页，星期日，2025年，2月5日先进表面工程技术先进表面工程技术是当代材料科技、真空科技与高科技的交叉领域和发展前沿，成为现代高新技术领域和先进制造业的重要前沿之一，在高性能防护涂层和功能薄膜方面应用广泛。先进表面工程的发展趋势、工艺过程及其新进展与当代科技架构的关系以及先进表面工程技术的产业化。在先进表面工程技术中采用远离平衡态镀膜技术、等离子体技术、激光技术、纳米技术等均取得了良好的应用效果。第2页，共44页，星期日，2025年，2月5日主要内容1.先进的表面工程技术的若干走向；2.先进表面工程的发展趋势；3.工艺过程研究及其新进展；4.当代科技架构和纳米科技；5.先进表面工程技术的产业化；6.先进表面工程技术的发展前沿。第3页，共44页，星期日，2025年，2月5日1先进的表面工程技术的若干走向第4页，共44页，星期日，2025年，2月5日功能涂层和薄膜技术

近年来发展迅速先进表面工程技术是当代材料科学技术、真空科技与高技术的重要交叉领域和发展前沿。先进表面工程技术在高性能防护涂层方面的应用，仍在继续发展，成为现代高新技术领域和先进制造业的重要前沿之一。第5页，共44页，星期日，2025年，2月5日新型材料制备工艺作为体材料的制备工艺：如电铸成型、气相沉积特种材料（热解石墨、六方氮化硼、碳化硅）、喷射成型等，薄膜和微制造工艺：特征尺寸还在不断地向更低数值扩展。微小特征尺度的先进表面工程技术正在逐步发展成为微／纳技术的重要组成部分。第6页，共44页，星期日，2025年，2月5日2.先进表面工程的发展趋势第7页，共44页，星期日，2025年，2月5日①原子沉积指通过形成原子分散状态的物质来沉积所需表面层或薄膜的技术：液相沉积：如电镀、化学镀、电泳、溶胶一凝胶等；气相沉积：物理气相沉积(PVD)、化学气相沉积(CVD)、分子束外延(MBE)三大类别。PVD：蒸发、溅射和离子镀三类；CVD：热CVD(TCVD)、金属有机化合物化学气相沉积(MOCVD)和等离子体增强CVD(PECVD)等。第8页，共44页，星期日，2025年，2月5日②颗粒沉积是指利用宏观颗粒状态的物质，沉积所需薄膜的方法。热喷涂、冷喷涂、静电喷涂。第9页，共44页，星期日，2025年，2月5日③整体复盖是指利用连续介质状态的物质，形成所需薄膜的方法。如包镀、热浸、表面烧结。第10页，共44页，星期日，2025年，2月5日④表面改性是指通过对基体表面施加力学、物理和化学的作用，直接形成所需特性的表面层。例如，表面研磨、表面抛光、表面粗化、表面喷丸、表面滚花、表面化学刻蚀、载能束表面刻蚀、表面应力控制、表面晶粒细化(纳米化)、化学转化层、离子渗氮(碳、碳氮)、渗铝和硅铝共渗、阳极化、磷化、硫化、氧化(发兰)、表面辐照、离子注入等。第11页，共44页，星期日，2025年，2月5日是否属于先进表面工程，

并不是一成不变的液相沉积、液相化学刻蚀等“湿法技术”直到80年代初仍是集成电路微细加工技术的主流工艺，而到了90年代，随着集成电路特征尺寸接近和进入纳米范围，气相沉积、等离子体刻蚀、载能束刻蚀等“干法技术”逐渐地，又是不可逆转地变成了微细加工技术的主流工艺。作为整个信息技术领域需要的配套，发展了一大批高性能高效率低成本的微／纳米加工技术。薄膜技术和刻蚀技术从整体上构成了当代微细加工技术的主体，并提供了向纳米加工进军的扎实可靠途径。第12页，共44页，星期日，2025年，2月5日越来越倾向于采用

真空气相沉积薄膜技术分子束外延、激光分子束外延(LMBE)、脉冲激光沉积(PLD)、超高真空化学气相沉积(UVCVD)等，可提供极端条件，有利于了解规律性，以得出创新性强的结果。第13页，共44页