气敏传感器分析.pptVIP

电子科学学院

仪器科学与技术;气敏传感器的作用相称于我们的

鼻子，可“嗅”出空气中某种特定的

气体，并鉴定气体的浓度，从而

实现对气体成分的检测和监测，

以改善人们的生活水平，保障人们

的生命。;环境污染、火灾报警;一、与气敏有关的基本概念;什么是气敏传感器？

气敏传感器是用来检测气体类别、浓度和成分的传感器。由于气体种类繁多,性质各不相似，不也许用一种传感器检测所有类别的气体，因此，能实现气-电转换的传感器种类诸多，按构成气敏传感器材料可分为半导体和非半导体两大类。目前实际使用最多的是半导体气敏传感器。;气敏电阻外形;酒精测试仪;家庭用液化气报警器;一氧化碳传感器;其他气体传感器;二氧化碳浓度传感器

氧浓度传感器外形;汽车尾气分析;有毒气体传感器的使用;1、气敏传感器的性能规定：;2、常见气敏传感器的分类;3、半导体气敏传感器的机理

;表7-1半导体气敏元件的分类;基本原理

是运用气体在半导体表面的氧化还原反应导致敏感元件阻值变化而制成的。

半导体气敏材料吸附气体的能力很强。当半导体器件被加热到稳定状态，在气体接触半导体表面而被吸附时，被吸附的分子首先在表面物性自由扩散，失去运动能量，一部分分子被蒸发掉，另一部分残留分子产生热分解而固定在吸附处（化学吸附）。;当半导体的功函数不不小于吸附分子的亲和力时，吸附分子将从器件夺得电子而变成负离子吸附，半导体表面展现电荷层。氧气等具有负离子吸附倾向的气体被称为氧化型气体或电子接受性气体。

假如半导体的功函数不小于吸附分子的离解能，吸附分子将向器件释放出电子，而形成正离子吸附。具有正离子吸附倾向的气体有石油蒸气、酒精蒸气、甲烷、乙烷、煤气、天然气、氢气等。它们被称为还原型气体或电子供应性气体，也就是在化学反应中能给出电子，化学价升高的气体；多数属于可燃性气体。;当氧化型气体吸附到N型半导体（SnO2,ZnO)上，还原型气体吸附到P型半导体(CrO3)上时，将使半导体载流子减少，而使电阻值增大。

当还原型气体吸附到N型半导体上，氧化型气体??附到P型半导体上时，则载流子增多，使半导体电阻值下降。;图9-1N型半导体吸附气体时器件阻值变化图;规则总结：;4、半导体气敏传感器类型及构造

1.电阻型半导体气敏传感器;图9-2气敏半导体传感器的器件构造

(a)烧结型气敏器件；(b)薄膜型器件；(c)厚膜型器件;由于加热方式一般有直热式和旁热式两种，因而形成了直热式和旁热式气敏元件。直热式气敏器件的构造及符号如图9-3所示。;旁热式气敏器件的构造及符号如图9-4所示;2.非电阻型半导体气敏传感器

非电阻型气敏器件也是半导体气敏传感器之一。它是运用MOS二极管的电容—电压特性的变化以及MOS场效应晶体管(MOSFET)的阈值电压的变化等物性而制成的气敏元件。由于类器件的制造工艺成熟，便于器件集成化，因而其性能稳定且价格廉价。运用特定材料还可以使器件对某些气体尤其敏感。;(1)MOS二极管气敏器件MOS二极管气敏元件制作过程是在P型半导体硅片上，运用热氧化工艺生成一层厚度为50~100nm的二氧化硅(SiO2)层，然后在其上面蒸发一层钯(Pd)的金属薄膜，作为栅电极，如图9-5(a)所示。;(2)MOS场效应晶体管气敏器件钯-MOS场效应晶体管(Pd-MOSFET)的构造，参见图9-6。;（1）气敏元件敏捷度特性

烧结型、薄膜型和厚膜型SnO2气敏器件对气体的敏捷度特性如右图所示。气敏元件的阻值RC与空气中被测气体的浓度C成对数关系：

logRC＝mlogC+n

式中n与气体检测敏捷度有关，除了随材料和气体种类不一样而变化外，还会由于测量温度和添加剂的不一样而发生大幅度变化。m为气体的分离度，随气体浓度变化而变化，对于可燃性气体，。;（2）SnO2材料的物理、化学稳定性很好，与其他类型气敏元件（如接触燃烧式气敏元件）相比，SnO2气敏元件寿命长、稳定性好、耐腐蚀性强。

（3）SnO2气敏元件对气体检测是可逆的，并且吸附、脱附时间短，可持续长时间使用。

（4）元件构造简朴，成本低，可靠性较高，机械性能良好。

（5）对气体检测不需要复杂的处理设备。可将待检测气体浓度可通直接转变为电信号,信号处理电路简朴。

;影响SnO2气敏效应的重要原因;表7-3添加物对SnO2气敏效应的影响;;2．ZnO(氧化锌)系气敏元件