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物理气相沉积技术在超级电机制造中的涂层新进展

目录

一、内容概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3

1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3

1.2超级电机的关键需求．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6

1.3离子束成膜方法的角色．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7

1.4文献综述与本文结构．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．8

二、物理气相沉积技术概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9

2.1PVD技术的基本原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12

2.2主要PVD工艺类型及特点．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．14

2.2.1物理蒸发沉积法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．20

2.2.2离子辅助沉积法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．22

2.2.3等离子体增强沉积法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．24

2.3PVD涂层在电机中的应用靶点．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．26

三、PVD涂层材料体系及其制备．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．29

3.1高耐磨涂层材料研究．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．33

3.1.1传统耐磨涂层．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．36

3.1.2新型耐磨涂层探索．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．38

3.2高介电/低漏导涂层材料．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．40

3.2.1超级电容极板中电解质稳定层．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．41

3.2.2适用于高电压场景的绝缘层（如Al2O3,TiO2）．．．．．．．．．．42

3.3低接触电阻涂层材料．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．46

3.3.1改善电接触性能的新烧结合金涂层．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．47

3.3.2纳米多层结构优化接触界面．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．49

3.4涂层功能化与梯度结构设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．51

3.4.1结合热障与抗氧化特性涂层．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．52

3.4.2调控界面结合力与韧性的梯度设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．54

四、PVD涂层在超级电机制造中的关键技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．58

4.1提高膜层附着力与结合机理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．61

4.1.1表面预处理技术的优化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．64

4.1.2涂层/基体界面结合的理论分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．67

4.2扩展规模化生产能力．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．68

4.2.1高效均匀的．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．69

4.2.2大面积柔性基板的适应性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．70

五、PVD涂层性能评估及失效机制分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．73

5.1涂层质量与物理性能测试．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．74

5.1.1莫氏硬度、韧性及耐磨性的表征．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．77

5.1.2绝缘电阻、介电强度及漏导电流测定．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．79

5.1.3接触电阻的精密测量方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．80

5.2涂层在工况下的耐久性研究．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．83

5.2.1循环充放电过程中的稳定性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．86

5.2.2高温、高冲击下的