《精密加工技术与检测》课件——精密切削加工机床.pptVIP

机械结构弹性变形微量进给装置机械结构弹性变形微量进给装置具有工作稳定可靠、精度重复性好的特点，适用于手动操作。图中所示双T形弹性变形微量进给装置分辨力可达0.01μm，输出位移方向的静刚度为70N/μm，重复精度0.02μm，最大输出位移为20μm。摩擦驱动为了进一步提高导轨运动的平稳性精度，现在有些超精密机床的进给驱动采用摩擦驱动，经实际应用，摩擦驱动的使用效果很好，已在一些大型超精密机床进给驱动系统中使用。摩擦驱动装置两个摩擦轮均由静压轴承支承，可以无摩擦转动。设计摩擦驱动装置需要解决以下两个结构问题：①摩擦轮直径问题。即下摩擦轮直径必须很小，才能满足驱动杆运动速度极慢的要