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2025年新版单晶炉技能考试题及答案

一、单项选择题（每题2分，共20分）

1.单晶炉中控制晶体生长速度的关键参数是（）

A.温度B.拉速C.埚转D.晶转

2.单晶炉热场中，起隔热作用的部件是（）

A.石墨坩埚B.石英坩埚C.保温筒D.电极

3.单晶炉拉晶过程中，通常采用（）气体进行保护。

A.氧气B.氮气C.氢气D.氩气

4.当单晶炉出现紧急情况时，应首先按下（）按钮。

A.加热B.冷却C.急停D.复位

5.单晶炉的埚位控制主要影响（）

A.晶体直径B.晶体长度C.晶体纯度D.晶体硬度

6.用于测量单晶炉内温度的仪器是（）

A.万用表B.红外测温仪C.热电偶D.热电阻

7.单晶炉在启动前，需要检查的项目不包括（）

A.水路系统B.电路系统C.机械传动系统D.照明系统

8.拉晶过程中，如果晶转速度过快，可能导致（）

A.晶体生长过快B.晶体直径不均匀C.晶体出现裂纹D.晶

体纯度下降

9.单晶炉的控制系统中，PID调节主要用于（）

A.温度控制B.拉速控制C.埚转控制D.晶转控制

10.单晶炉的石墨部件在使用一段时间后需要更换，主要原因是（

）

A.磨损B.氧化C.变形D.以上都是

二、多项选择题（每题2分，共20分）

1.单晶炉的主要组成部分包括（）

A.炉体B.热场系统C.控制系统D.气体供应系统

2.影响单晶生长质量的因素有（）

A.温度稳定性B.拉速均匀性C.晶转埚转速度D.气体纯度

3.单晶炉热场中的部件有（）

A.石墨加热器B.石英坩埚C.导流筒D.籽晶杆

4.拉晶过程中可能出现的问题有（）

A.断晶B.多晶C.孪晶D.晶体杂质超标

5.单晶炉的气体供应系统需要提供的气体有（）

A.氩气B.氮气C.氢气D.氧气

6.检查单晶炉水路系统时，需要关注的方面有（）

A.水流是否顺畅B.有无漏水C.水温是否正常D.水压是否

稳定

7.单晶炉控制系统可以实现对以下哪些参数的控制（）

A.温度B.拉速C.埚转D.晶转

8.维护单晶炉时，对机械传动部件的保养工作包括（）

A.清洁B.润滑