微电子工艺实验教程：电阻成套分析与应用PPT教学课件.pptx

下载文档

0
0
约1.53千字
约 16页
2025-09-05 发布于浙江
举报
版权申诉
保障服务

微电子工艺实验教程：电阻成套分析与应用PPT教学课件.pptx

1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。

微电子工艺实验第八章电阻成套分析与应用

1.进一步熟悉半导体工艺的原理和集成电阻的类型；2.使用多功能实验基础平台和实验用半导体参数分析仪，完成电阻制作的成套工艺。实验原理实验内容实验目的实验结果分析思考题和拓展实验

扩散电阻是通过杂质扩散形成的电阻，因制作方法不同，也可以分为阱电阻和P+/N+电阻。扩散电阻的阻值与扩散的杂质类型、掺杂浓度和扩散深度等有关。扩散电阻的工艺稳定性相对较差，容易受温度和阱电压、衬底电压的影响，从而呈现出非线性，并且其绝对数值也较难精确控制，匹配难度较大。离子注入电阻是通过离子注入工艺形成的电阻，可以通过改变离子注入的能量、剂量以及注入层的厚度等参数精确地控制电