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CN120215223A 光罩校正方法、装置及半导体设备 （长鑫科技集团股份有限公司）.pdfVIP

CN120215223A 光罩校正方法、装置及半导体设备 （长鑫科技集团股份有限公司）.pdf

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    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN120215223A

    (43)申请公布日2025.06.27

    (21)申请号202510592087.4

    (22)申请日2025.05.08

    (71)申请人长鑫科技集团股份有限公司

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