《材料现代分析技术》第11章 能谱分析.pptxVIP

;;;信息：俄歇电子（50～1500eV，平均自由程1nm左右）

用途：表层的成分分析及样品表面化学态的信息。;一、结构原理;一、结构原理;二、定性分析;三、定量分析;三、定量分析;四、化学价态分析;五、AES的应用举例;五、AES的应用举例;五、AES的应用举例;五、AES的应用举例;五、AES的应用举例;五、AES的应用举例;;课程内容;一、工作原理;一、工作原理;二、系统组成;二、系统组成;电子能量分析器－XPS的核心部件，

功能：是将样品表面激发出来的光电子按其能量的大小分别聚焦，获得光电

子的能量分布。

分类：磁场型和电场型两类。

磁场型特点：分辨能力强，但结构复杂，磁屏蔽要求较高，故应用不多。

电场型特点：体积小，结构紧凑，真空要求低，外磁场屏蔽简单，安装方便

电场型又有筒镜形和半球形两种，其中半球形能量分析器更为常用。;光电子动能：;3．检测器

功能是对从电子能量分析器中出来的不同能量的光电子信号进行检测。

4．高真空系统

具有以下两个基本功能：1）保证光电子在能量分析器中尽量不再与其他残余气体分子发生碰撞；2）保证样品表面不受污染或其他分子的表面吸附。

5．离子枪

主要是用氩离子剥蚀样品表层污染，保证光电子谱的真实性。但在使用离子枪进行表面清污时，应考虑到离子剥蚀的择优性，也就是说易