《材料现代分析技术》第12章 原子探针.pptxVIP

;组成：原子探针主要由场离子显微镜和质谱仪组成。

发展：

1）场离子显微镜（FieldIonMicroscope，FIM）；

2）原子探针场离子显微镜（AtomProbeFieldIonMicroscope，APFIM）；

3）成像原子探针（ImagingAtomProbe，IAP）；

4）原子探针层析（AtomProbeTomography，APT）。

原子探针层析技术可以研究材料中不同元素原子的三维空间分布，能够在纳米尺度甚至在原子尺度上“观察”材料内部结构的三维视图，是目前空间分辨率最高的分析测试手段之一。;课程内容;一、场离子显微镜

;一、场离子显微镜

;一、场离子显微镜

;一、场离子显微镜

;一、场离子显微镜

;一、场离子显微镜

;二、原子探针;二、原子探针;二、原子探针;二、原子探针;;样品要求：

1）试样尖端的曲率半径介于50~150nm。

2）尖端接近半球形，球表面应当光滑，无凸起、凹槽、裂纹和污染。

3）试样截面为圆形。

4）适当的锥角。

5）感兴趣特征应在试样顶点约100nm以内，以确保包含在所获得的数据集内。

常用方法：

电化学抛光

聚焦离子束;课程内容;一、析出相;一、析出相;二、界面;二、界面;三、位错;四、团簇