多模式白光显微干涉测量系统的开发与应用.pdf

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摘要

精密检测技术在半导体、精密光学、微机电系统等领域扮演着重要的角色，

表面形貌和膜厚度将直接影响器件的性能。白光显微干涉测量技术具有高精度、

无损测量的优势，被广泛用于表面形貌检测和膜厚度检测中。本文开发了一套多

模式白光显微干涉测量系统和一款表面形貌分析软件。测量系统基于Linnik型

干涉结构，包含了白光扫描干涉技术和白光光谱干涉技术，对表面形貌和膜厚度

既能够实现区域测量，又能够实现线轮廓的快速测量。论文主要

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