光电测量系统设计--基于干涉方法测量压电陶瓷微小伸长量.doc

光电测量系统设计

基于干涉方法测量压电陶瓷微小伸长量

指导老师：

朱海东樊敏

姓名：

陈权

学号：

2013031053

班级：

电科132班

时间：

2016年11月7日

摘要

本次实验为光电测量系统设计，从而测量压电陶瓷由于加热而产生的微小形变量，故需要掌握干涉和衍射的基本原理和产生条件，结合相关仪器软件完成对光电探测器的设计。首先是对通过杨氏双缝干涉，夫琅禾费衍射，PSD微小位移测量实验对理论知识的补充和了解，并对测量系统的搭建有一个大概的构思。然后在机房通过仿真软件ZMAX完成扩束准直系统的设计，ZWCAD绘制出探测器的光学结构（探头主体、底座、支杆等）；最后，进行了光纤