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微结构膜片式差压传感机理与非线性补偿建模分析.docx

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    微结构膜片式差压传感机理与非线性补偿建模分析

    目录

    TOC\o1-3\h\z\u一、微结构膜片式差压传感机理研究 3

    1.膜片微结构设计与工作原理 3

    膜片几何形状与应力分布特性 3

    压阻效应与电信号转换机制 4

    2.差压传感的物理模型建立 6

    流体结构耦合作用分析 6

    温度对传感性能的影响机理 8

    二、非线性特性分析与建模方法 9

    1.传感器非线性误差来源研究 9

    材料非线性变形特性 9

    电路系统的非线性响应 10

    2.非线性数学模型构建 11

    基于物理机理的微分方程建模 11

    实验数据驱动的统计建模

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