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超快激光雕刻机理及其在微纳加工领域的应用探索.docx

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    超快激光雕刻机理及其在微纳加工领域的应用探索

    目录

    TOC\o1-3\h\z\u一、超快激光雕刻的基本原理与技术特点 3

    1、超快激光与材料相互作用机理 3

    非线性吸收与多光子电离过程 3

    等离子体形成与能量传递机制 5

    2、超快激光系统的关键技术参数 6

    脉冲宽度与峰值功率调控 6

    重复频率与扫描策略优化 8

    二、超快激光雕刻的材料适应性研究 9

    1、金属材料的加工特性分析 9

    不同金属的热传导与熔融阈值 9

    表面形貌控制与粗糙度优化 11

    2、半导体与介电材料的加工机制 12

    带隙结构与激光能量吸收关系

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