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激光多普勒振动仪在微纳器件中的亚纳米级分辨率检测方法.docx

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    激光多普勒振动仪在微纳器件中的亚纳米级分辨率检测方法

    目录

    TOC\o1-3\h\z\u一、激光多普勒振动仪的基本原理与技术特点 3

    1、激光多普勒效应与振动测量的物理基础 3

    多普勒频移与振动速度的线性关系 3

    光学干涉仪的光路设计与信号调制方法 5

    2、系统组成与关键技术参数 5

    激光源的选择与稳定性要求 5

    光电探测器的噪声特性与信噪比优化 6

    二、微纳器件振动检测的特殊要求与挑战 8

    1、微纳尺度振动信号的特征分析 8

    亚纳米级位移的检测灵敏度需求 8

    高频振动响应的时间分辨率要求 9

    2、环境干扰与测量噪

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