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低温印刷制备铟镓锌氧化物薄膜晶体管及其在背板驱动中的效能与应用研究

一、引言

1.1研究背景与意义

在当今数字化时代，显示技术作为信息呈现的关键窗口，正以前所未有的速度蓬勃发展，深刻地改变着人们的生活与工作方式。从日常使用的手机、平板电脑，到大型的液晶电视、户外显示屏，再到专业领域的医疗影像设备、航空航天仪表等，显示设备无处不在，其性能的优劣直接影响着信息传递的效率和用户体验的质量。随着人们对视觉体验要求的不断提高，显示技术正朝着高分辨率、高刷新率、低功耗、轻薄化以及柔性可折叠等方向迅猛迈进。

背板驱动作为显示技术的核心支撑部分，如同显示设备的“神经中枢”，对显示器的性能起着决定性作用。其主要功能是精确控制每个像素的开关和亮度，确保图像的清晰、稳定显示。在高分辨率显示中，如4K、8K甚至更高分辨率的显示屏，像素数量大幅增加，这就要求背板驱动能够更快速、精准地驱动每一个像素，以呈现出细腻、逼真的图像细节。而在高刷新率显示方面，如120Hz、144Hz等高刷新率屏幕，背板驱动需要具备更高的响应速度，才能满足快速变化的画面需求，有效减少运动模糊和拖影现象，为用户带来流畅的视觉感受，特别是在观看高速运动画面或进行激烈的电子竞技游戏时。

在背板驱动中，晶体管作为基本的开关元件，犹如“神经元”一般，承担着至关重要的角色。它的性能直接关乎背板驱动的优劣，进而影响整个显示系统的性能。随着显示技术的不断演进，对晶体管的性能提出了越来越严苛的要求。高迁移率是晶体管性能的关键指标之一，它意味着电子在晶体管沟道中的传输速度更快，能够实现更高的开关速度和更低的功耗，从而满足高分辨率、高刷新率显示对快速信号处理的迫切需求。例如，在高刷新率显示屏中，高迁移率的晶体管可以使像素点更快地响应信号变化，实现画面的快速切换，有效提升视觉体验。大面积均匀性也是不可或缺的特性，它确保了在大面积基板上制备的晶体管性能一致，从而保证显示画面的亮度、色彩均匀性，避免出现亮度不均、色块等显示缺陷，这对于大尺寸显示面板，如电视、电脑显示器等的生产尤为重要。

传统的非晶硅薄膜晶体管由于其场效应迁移率较低，通常在0.1-1cm2/(V?s)之间，已难以满足新型显示驱动对高速信号处理和高分辨率显示的需求。低温多晶硅薄膜晶体管虽然具有较高的迁移率，一般在100-300cm2/(V?s)范围内，但其存在大量的晶界，这导致器件电学均匀性较差，在大面积上难以保证性能的一致性。并且，其制备温度高，通常需要在500-700℃左右，这不仅增加了生产成本，还限制了其在一些对温度敏感的基板上的应用。

铟镓锌氧化物（IGZO）薄膜晶体管作为一种新兴的半导体器件，凭借其独特的优势，在显示技术领域展现出巨大的应用潜力，逐渐成为研究和应用的热点。IGZO具有较高的场效应迁移率，一般在10-50cm2/(V?s)之间，能够有效提高背板驱动的信号处理速度，满足高分辨率、高刷新率显示的要求。其关态电流极低，可低至10?12A量级，这意味着在非工作状态下，器件的功耗非常低，对于延长电池供电设备的续航时间具有重要意义，如手机、平板电脑等移动显示设备。此外，IGZO还具备大面积均匀性好的特点，在大面积基板上制备时，能够保证器件性能的一致性，为大尺寸显示面板的生产提供了有力保障。

制备工艺对于IGZO薄膜晶体管的性能和应用范围有着至关重要的影响。低温印刷制备工艺作为一种新兴的制备技术，与传统的高温制备工艺相比，具有诸多显著的优势，使其在IGZO薄膜晶体管的制备中展现出独特的魅力。从成本角度来看，低温印刷制备工艺无需高温环境，这大大降低了对设备的要求和能耗，减少了设备购置和运行成本。传统高温制备工艺通常需要昂贵的高温炉等设备，且能耗巨大，而低温印刷制备工艺则可使用相对简单的设备，如喷墨打印机、丝网印刷机等，设备成本大幅降低。同时，低温环境下的制备过程减少了能源消耗，符合可持续发展的理念，降低了生产成本。

低温印刷制备工艺能够在对温度敏感的基板上进行制备，极大地拓展了IGZO薄膜晶体管的应用领域。许多柔性基板，如聚对苯二甲酸乙二醇酯（PET）、聚萘二甲酸乙二醇酯（PEN）、聚酰亚胺（PI）等，其玻璃化转变温度较低，一般在150-250℃之间，无法承受传统高温制备工艺的高温环境。而低温印刷制备工艺的低温特性使得在这些柔性基板上制备IGZO薄膜晶体管成为可能，为柔性显示、可穿戴电子等新兴领域的发展提供了有力支持。在可穿戴电子设备中，柔性显示屏幕需要与人体贴合，对基板的柔韧性要求极高，低温印刷制备的IGZO薄膜晶体管能够满足这一需求，实现可穿戴设备的轻薄化、柔性化。

从制备过程来看，低温印刷制备工艺具有简单、灵活的特点，为IGZO