13009 洁净室认证测试.pdfVIP

世源科技工程有限公司

技术规格书

章号：13009

标题：洁净室认证测试

版次：0

：

建设单北京超弦存储器研究院

项目名称特色工艺实验室工程项目

：

编制人审核审定批准人

二○二四年

技术规格书

第1部分总则

1.1概述

1.1.1本文是定义和描述洁净室认证测试的要求和范围。它包括了测试的执行及

其文档的所有具体细节和要求。

1.1.2认证应该被定义为一个关于洁净室运行状态的完整测试及其总结报告。应

包含的测试：

1.1.2.1风速测试

1.1.2.2风量测试

1.1.2.3安装完的过滤器泄漏测试

1.1.2.4洁净等级测试

1.1.2.5气流平行度测试

1.1.2.6照度测试

1.1.2.7声压测试

1.1.2.8房间压差测试

1.1.2.9温度和相对湿度的均匀度测试

1.1.2.10自净测试

1.1.2.11地板接地电阻测试

1.1.2.12墙板接地电阻测试

1.1.2.13黄光波长检测

1.1.2.14AMC检测

1.2相关工作

1.2.1本部分将和下面的标准规范以及合同共同组成洁净室认证测试的必要条

件。

1.2.1.1图纸

1.2.1.2合同

1.2.2下列标准和工业规范的当前版本应该被视为本规范的组成部分，并且用

以严格规范实际操作。所有的测试方法，标准都要按在本认证测试文档中规定的

进行操作。

1.2.2.1VDI2083,3-Measuringtechniqueinthecleanroomair-VereinDeutscher

Ingenieure

SYC技术规格书

章节：13009A第2页

技术规格书

1.2.2.2IES-RP-CC006-Recommendedpracticesfortestingcleanrooms-Instituteof

EnvironmentalSciences

1.2.2.3DINENISO14644part1–Cleanroomsa