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世源科技工程有限公司

技术规格书

章号：13047A

标题：化学过滤器（FFU用）

版次：0

建设单位：北京超弦存储器研究院

项目名称：特色工艺实验室工程项目

编制人审核审定批准人

二○二四年

技术规格书

第1部分总则

1.1说明

1.1.1本章内容包括用于FFU化学过滤器、框架、五金构件和配件安装的要求。

1.1.2图纸以及合同一般条款，包括一般和补充条款以及第1篇中的所有技术规格书

全部适用于本技术规格书。

1.2参考法规与规章

1.2.1有关的法规与规章

1.2.1.1洁净厂房设计规范GB50073-2013

1.2.1.2电子工业洁净厂房设计规范GB50472-2008

1.2.1.3建筑设计防火规范GB50016-2014（2018年版）

1.2.1.4洁净厂房施工及质量验收规范GB51110-2015

1.3相关技术规格书

1.3.1本章节应与以下技术规格书及相关合同文件共同使用，做为化学过滤器的详细

要求。

1.3.1.113005章——洁净室及相关受控环境的建筑材料的挥发性控制要求

1.3.1.213043章——洁净室密封吊顶系统

1.3.1.313065章——FFU

1.3.1.415050章——机械基本要求

1.3.2如果本章节没有与以上技术规格书共同使用，将会缺失基本技术要求。

1.3.3当本章节中关于洁净室过滤器的要求和其他相关技术规格书发生冲突时，应以

本章节的要求为准。

1.4设备性能

1.4.1供应商应证明所提供的过滤器性能满足或者超过本技术规格书以及图纸的要

求。供应商负责检验所提供的设备满足本章引用的其他标准。

1.4.2过滤器应在工厂内完成组装并经过相关测试。

1.4.3过滤器应需为原厂制造，不接受贴牌。

1.5报价前需提交的文件资料

1.5.1过滤器厂商必须提供以下文件资料供审核。

1.5.1.1化学过滤器Particleshedding和Outgassing的测试报告。

1.5.1.2风量-阻力变化曲线。

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章节：13047A