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气体光学测试芯片与谱学解析方法的交叉融合.docx

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    气体光学测试芯片与谱学解析方法的交叉融合

    目录

    TOC\o1-3\h\z\u一、气体光学测试芯片的技术基础与设计原理 3

    1、光学芯片的物理结构设计 3

    微腔与波导结构的光场调控机制 3

    表面等离激元共振增强的气体传感原理 4

    2、芯片材料与制造工艺 6

    硅基与氮化硅材料的光学特性对比 6

    电子束光刻与反应离子刻蚀的精度控制 7

    二、光谱解析算法的数学模型与计算方法 10

    1、光谱信号预处理技术 10

    小波变换去噪与基线校正算法 10

    傅里叶变换频域特征提取方法 11

    2、多组分气体定量分析模型 13

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