微型压电致动器驱动电源：技术剖析与创新发展.docx

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2025-09-15 发布于上海
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微型压电致动器驱动电源：技术剖析与创新发展

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科技迅猛发展的背景下，微机电系统（MEMS）、精密仪器、生物医疗等领域对微小尺寸、高精度驱动元件的需求日益增长，微型压电致动器应运而生并展现出独特优势。微型压电致动器基于压电材料的逆压电效应，即当对压电材料施加电场时，材料会产生机械变形，这种变形能够实现精确的微位移输出，具备高位移分辨率、快速响应、结构紧凑、断电自锁以及无电磁干扰等一系列显著特性。在超精密加工中，它能精准控制刀具或工件的微位移，极大地提高加工精度，助力制造出更为精密的零部件；在半导体制造领域，可用于光刻机等关键设备的精密定位，为芯片制造的不断