离子束抛光控制算法：原理、应用与优化策略.docx

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2025-09-16 发布于上海
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离子束抛光控制算法：原理、应用与优化策略

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代制造业中，超精密加工技术扮演着至关重要的角色，其发展水平直接影响着国家在高端制造领域的竞争力。离子束抛光技术作为超精密加工领域的关键技术之一，近年来受到了广泛的关注和深入的研究。随着科技的飞速发展，众多领域如航空航天、光学仪器、半导体制造等对零部件的精度和表面质量提出了前所未有的严苛要求。在航空航天领域，卫星反射镜的面形精度直接关乎其对信号的反射和接收效果，微小的误差都可能导致信号的衰减或丢失，影响卫星的正常运行；在光学仪器领域，高分辨率的光学镜头需要具备接近衍射极限的成像质量，这就要求光学元件的表面粗糙度达到纳