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化合物半导体的外延生长设备项目风险评估报告
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化合物半导体的外延生长设备项目风险评估报告
目录
TOC\o1-9前言 3
一、对策措施与建议 3
(一)、事故隐患的整改措施 3
(二)、建议的安全对策措施 4
二、环境评价 5
(一)、环境评价概述 5
(二)、评价化合物半导体的外延生长设备项目概况 5
(三)、环评单位的基本情况 7
(四)、评价范围及目的 8
(五)、评价依据 10
(六)、国家环保法律法规 10
(七)、地方环保规定 10
(八)、相关标准和技术规范 11
(九)、评价程序与方法 11
(十)、环境评价程
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