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世源科技工程有限公司
技术规格书
章号：11561
标题：工艺真空泵
版次：0
建设单位：北京超弦存储器研究院项
目名称：特色工艺实验室工程项目
编制人审核审定批准人
二○二四年三月
技术规格书
总则
1
1.1工作内容
A.本节规定了提供及安装工艺真空泵的要求。
1.2相关工作
A.使用本节规范时，应结合以下其它规范以及相关合同文件，一同建立对工
艺真空泵系统的整体要求：
1.13205节–压力容器的标准要求
2.15050节–基本机械要求
3.15240节–机械噪音及振动控制
4.本节末附录
B.注意：使用本节内容时，如未结合以上内容，将会导致基本要求的遗漏。
1.3系统描述
A.本系统应按照附件描述内容进行制造及安装。本节所描述的设备应满足连
续运转，使用耐久，并只需最低限度的维护工作。
B.每个系统(设备)应以固定好的设备基座为基础进行设计及制造。设备应设计
为接口清楚便于安装并尽可能减少设备单体的数量。每台设备提供1个水、
电、气的接口。设备应尽可能作为独立的单体进行预制及运输。
C.螺杆真空泵设备系统应包括：
1.真空泵
2.就地控制盘
3.附件及内部管道连接
4.排气油分离器
1.4质量保证
A.由一个供货商提供设备包并对总体性能负责及担保。
1.5提交
A.随投标文件一起提供以下内容：
SYC技术规格书2022-03
章节：11561第1页
技术规格书
1.设备材料表
2.设备的动力要求：包括用电、冷却水、排
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