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2025-2030半导体设备国产化进程及市场机遇研究报告.docx

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    2025-2030半导体设备国产化进程及市场机遇研究报告

    目录

    TOC\o1-3\h\z\u一、行业现状与市场规模分析1、全球及中国半导体设备市场格局 3

    2、产业链竞争态势 3

    零部件领域金属件/石英件/陶瓷件国产替代进度对比 3

    3、政策驱动效应 5

    国家大基金二期2000亿元注资对设备研发的支撑作用 5

    税收优惠/研发补贴/人才引进等政策工具实施效果评估 6

    二、技术突破与市场需求1、核心技术发展路径 8

    光刻机EUV与DUV技术路线国产化突破瓶颈 8

    及以上成熟制程设备国产化率达65%的产能分析 9

    第三代半导体材

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