EBL电子束光刻机 光刻机 EBL 用户手册.pdf

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EBL操作

1.进样

EHT–vent破真空,放样;

EHT–pump抽真空(抽至5e-05mbar以下);

2.升高压

真空抽到以后,输入所需高压值,点EHT–EHTOn开启高压;

3.升台子

在Z输入一个定值42,按camera切换至TV观察台面上升,注意勿碰极靴;

4.测束流

①在右侧栏第二个(writefieldmanager)界面下,点上面“→”,选写场;

②在stagecontrol界面,选择法拉第杯,Go;

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