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EBL操作
1.进样
EHT–vent破真空,放样;
EHT–pump抽真空(抽至5e-05mbar以下);
2.升高压
真空抽到以后,输入所需高压值,点EHT–EHTOn开启高压;
3.升台子
在Z输入一个定值42,按camera切换至TV观察台面上升,注意勿碰极靴;
4.测束流
①在右侧栏第二个(writefieldmanager)界面下,点上面“→”,选写场;
②在stagecontrol界面,选择法拉第杯,Go;
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