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正交试验法在电火花沉积电极摆动工艺优化中的应用
目录
文档简述................................................3
1.1研究背景与意义........................................3
1.1.1电火花沉积技术发展现状..............................5
1.1.2电极摆动工艺的重要性................................6
1.1.3工艺优化研究的必要性................................9
1.2研究目的与内容.......................................12
1.3研究方法与技术路线...................................13
1.4论文结构安排.........................................15
电火花沉积及电极摆动工艺概述...........................18
2.1电火花沉积原理与设备.................................20
2.1.1电火花沉积的基本原理...............................23
2.1.2电火花沉积设备的组成...............................27
2.2电极摆动工艺的作用及方式.............................28
2.2.1电极摆动的目的与作用...............................29
2.2.2常见的电极摆动方式.................................32
2.3电极摆动工艺参数及其影响.............................33
2.3.1主要工艺参数的识别.................................36
2.3.2工艺参数对沉积过程的影响...........................39
正交试验设计方法.......................................40
3.1正交试验法的基本概念.................................42
3.2正交表的选择与设计原则...............................44
3.2.1正交表的类型.......................................48
3.2.2正交表的选择依据...................................49
3.3正交试验的可信度分析.................................52
3.3.1极差分析...........................................54
3.3.2方差分析...........................................56
3.4正交试验法的优缺点...................................58
电极摆动工艺参数优化正交试验...........................59
4.1试验方案的制定.......................................63
4.1.1试验因素的选择.....................................66
4.1.2试验水平的确定.....................................68
4.1.3正交试验表的构建...................................71
4.2试验过程与数据采集...................................74
4.2.1试验设备的准备.....................................77
4.2.2试验步骤的执行.....................................79
4.2.3试验结果的记录.....................................82
4.3试验结果的极差分析...................................84
4.3.1各因素的极差计算...................................85
4.3.2主次因素的排序....................
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