原子力显微镜的原理及应用.pptVIP

原子力显微镜（AFM）便是结合以上三个部分来将样品的表面特性呈现出来的：在原子力显微镜（AFM）的系统中，使用微小悬臂（cantilever）来感测针尖与样品之间的交互作用，测得作用力。这作用力会使cantilever摆动，再利用激光将光照射在cantilever的末端，当摆动形成时，会使反射光的位置改变而造成偏移量，此时激光检测器会记录此偏移量，也会把此时的信号给反馈系统，以利于系统做适当的调整，最后再将样品的表面特性以影像的方式给呈现出来。返回第30页，共43页，星期日，2025年，2月5日提高图像分辨率1、发展新的技术或模式来提高分辨率，即从硬件设备以及成像机理上提高成像分辨率。如最近Fuchs等发明的Q控制技术，可以提高成像分辨率和信噪比。采用力调制模式或频率调制模式等也可以有效提高成像分辨率。2、选择尖端曲率半径小的针尖，减小针尖与样品之间的接触面积，减小针尖的放大效应，以提高分辨率。第31页，共43页，星期日，2025年，2月5日第1页，共43页，星期日，2025年，2月5日目录：AFM的发展历史AFM的原理AFM的分类AFM机器的组成影响AFM分辨率的因素AFM技术应用举例照片举例AFM的缺点第2页，共43页，星期日，2025年，2月5日高级显微镜1938年，德国工程师MaxKnoll和ErnstRuska制造出了世界上第一台透射电子显微镜（TEM）1952年，英国工程师CharlesOatley制造出了第一台扫描电子显微镜（SEM）至此，电子显微镜的分辨率达到纳米级第3页，共43页，星期日，2025年，2月5日1983年，IBM公司苏黎世实验室的两位科学家GerdBinnig和HeinrichRohrer发明了扫描隧道显微镜（STM）应用电子的“隧道效应”这一原理，对导体或半导体进行观测第4页，共43页，星期日，2025年，2月5日隧道效应经典物理学认为，物体越过势垒，有一阈值能量；粒子能量小于此能量则不能越过，大于此能量则可以越过。例如骑自行车过小坡，先用力骑，如果坡很低，不蹬自行车也能靠惯性过去。如果坡很高，不蹬自行车，车到一半就停住，然后退回去。量子力学则认为，即使粒子能量小于阈值能量，很多粒子冲向势垒，一部分粒子反弹，还会有一些粒子能过去，好像有一个隧道，故名隧道效应（quantumtunneling）。可见，宏观上的确定性在微观上往往就具有不确定性。虽然在通常的情况下，隧道效应并不影响经典的宏观效应，因为隧穿几率极小，但在某些特丁的条件下宏观的隧道效应也会出现。第5页，共43页，星期日，2025年，2月5日AFM出现的意义STM的原理是电子的“隧道效应”，所以只能测导体和部分半导体1985年，IBM公司的Binning和Stanford大学的Quate研发出了原子力显微镜（AFM），弥补了STM的不足返回第6页，共43页，星期日，2025年，2月5日成像原理ExpulsiveforceatomatomAttractiveforceatomatom第7页，共43页，星期日，2025年，2月5日恒定力量或者恒定高度第8页，共43页，星期日，2025年，2月5日探针如何成像第9页，共43页，星期日，2025年，2月5日表面形貌和材料如何测量返回XYZMover垂直信號的變化即樣本的表面變化Cantilever擺動的方向XYZMoverCantilever擺動的方向水平信號的變化即樣本的材質變化第10页，共43页，星期日，2025年，2月5日AFM有多种工作模式1.接触模式（ContactMode）：作用力在斥力范围，力的量级为10－9～10－8N，或1～10eV/?。可达到原子级分辨率。2.非接触模式（Non-ContactM