真空技术基础 (2).pptVIP

2.5真空测量仪器为了判断和检定真空系统所达到的真空度，必须对真空容器内的压强进行测量。但在真空技术中遇到的气体压强都很低，要直接测量其压力是极不容易的，因此都是利用测定在低气压下与压强有关的某些物理量，再经变换后确定容器的压强。当压强改变时，这些和压强有关的特性也随之变化的物理现象，就是真空测量的基础。任何具体的物理特性，都是在某一压强范围才最显著。因此，任何方法都有其一定的测量范围，这个范围就是该真空计的“量程”。目前，还没有一种真空计能够测量1大气压至10-10Pa整个范围的真空度。真空计按照不同的原理和结构可分成许多类型。第29页，共45页，星期日，2025年，2月5日表2-5几种真空计的工作原理与测量范围名称工作原理测量范围/PaU形管压力计利用大气与真空压差105~10-2水银压缩真空计根据Boyle定律103-10-4电阻真空计利用气体分子热传导104~10-2热电偶真空计热阴极电离真空计利用热电子电离残余气体10-1~10-6B-A型真空计10-1~10-10潘宁磁控电离计利用磁场中气体电离与压强有关的原理1~10-5气体放电管利用气体放电与压强有关的原理103~1第30页，共45页，星期日，2025年，2月5日一、电阻真空计电阻真空计是热传导真空计的一种，它是利用测量真空中热丝