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中国半导体设备行业国产化路径与产业链协同发展研究
一、中国半导体设备行业国产化路径与产业链协同发展研究
1.1.行业背景
1.2.国产化路径分析
1.2.1技术创新
1.2.2产业链协同
1.2.3政策支持
1.3.产业链协同发展策略
1.3.1加强产业链上下游企业合作
1.3.2培育产业集群
1.3.3提升人才培养
1.3.4拓展国际市场
二、半导体设备行业国产化进程分析
2.1国产化进程概述
2.2关键技术突破与国产化进展
2.2.1光刻机
2.2.2刻蚀机
2.2.3沉积设备
2.2.4测试设备
2.3国产化面临的挑战
2.4国产化路径与建议
三、产业链协同
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