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数字全息方法在微结构表面三维形貌测量中的应用与探索
一、引言
1.1研究背景与意义
在现代制造、微机电系统(MEMS)、生物医学等众多前沿领域,微结构表面的三维形貌精确测量至关重要,已成为推动各领域技术突破与创新发展的关键环节。
在现代制造领域,随着制造业向高精度、微型化方向迅猛发展,对零件表面质量的要求达到了前所未有的高度。零件表面的微观形貌直接关乎其摩擦磨损性能、疲劳寿命以及与其他部件的配合精度,进而对整个产品的性能和可靠性产生决定性影响。例如,在航空发动机的制造中,叶片表面的微结构形貌若存在瑕疵,在高温、高压、高转速的极端工作环境下,可能引发严重的安全事故。因此,准确测量微结构表面的
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