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深度洞察2025年3nmGAAFET工艺研发难点与解决方案.docx

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    深度洞察2025年3nmGAAFET工艺研发难点与解决方案参考模板

    一、深度洞察2025年3nmGAAFET工艺研发难点与解决方案

    1.3nmGAAFET工艺在器件结构上的挑战

    2.光刻技术在3nmGAAFET工艺中的应用

    3.3nmGAAFET工艺中的材料挑战

    4.3nmGAAFET工艺中的热管理问题

    5.3nmGAAFET工艺的可靠性问题

    二、3nmGAAFET工艺研发中的关键技术创新

    2.1材料创新与优化

    2.2光刻技术突破

    2.3晶体管结构创新

    2.4热管理技术创新

    2.5可靠性测试与验证

    2.6软件与仿真工具

    三、3nmGAAFET工艺研发中的挑

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